全局模型与两项玻尔兹曼方程耦合
Application ID: 67411
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中，我们研究氩等离子体的形成周期，其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生。局部场近似中的全局模型用于描述等离子体物质随时间变化的情况。我们通过对 EEDF 进行适当的横截面积分得出电子碰撞反应和电子迁移率的速率系数，并在每个时步使用两项近似玻尔兹曼方程来计算 EEDF。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。