可调式 MEMS 电容器

Application ID: 123


在本例中,静电可调式平行板电容器是射频范围介于 300 MHz 到 300 GHz 之间的各种 MEMS 器件的典型部件。当外加电压发生变化时,可以通过连接到其中一块板的弹簧来修改两块板的间距。然后,通过后处理步骤计算电容。

本例采用基于边界元法 (BEM) 的静电,边界元 接口执行仿真,使用该接口进行仿真时,无需定义有限建模域和边界,也无需对电容器的薄体积进行网格划分。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: