可调 MEMS 电容器
Application ID: 123
在本例中，静电可调式平行板电容器是射频范围介于 300 MHz 到 300 GHz 之间的各种 MEMS 器件的典型部件。当外加电压发生变化时，可以通过连接到其中一块板的弹簧来修改两块板的间距。然后，通过后处理步骤计算电容。
本例采用基于边界元法 (BEM) 的静电，边界元 接口执行仿真，使用该接口进行仿真时，无需定义有限建模域和边界，也无需对电容器的薄体积进行网格划分。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
- COMSOL Multiphysics® 和
- 以下模块之一： AC/DC 模块, 或 MEMS 模块
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。