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本模型模拟了在 U 型结构表面沉积氧化铝薄膜的 ALD 沉积过程。该工艺采用三甲基铝 (TMA) 和水 (H2O) 作为气态前体,氮气作为吹扫气体。气态反应物依次被引入反应腔室,并在U型结构表面经历一系列吸附和化学反应 ... 扩展阅读
本例模拟在其中一个壁面上有小障碍物的直通道中的三维超音速流,包括激波的影响。 当流动冲击障碍物时,激波从障碍物和通道壁发生衍射,传播的激波在速度分布和密度分布上形成一种波型。 此模型采用 COMSOL ... 扩展阅读
本例模拟油滴通过悬浮液上升的过程。悬浮液最初是分层的,底部为致密层,顶部为透明层。油滴最初位于悬浮液的致密层中。悬浮液中的颗粒在流域底部开始沉淀,其中一小部分颗粒也会被上升的油滴携带浮起 ... 扩展阅读
本例采用浅水方程来模拟水波对柱的冲击。闸门后面最初有一个 0.3 米高的水体。仿真开始时,闸门突然释放,水体形成向结构移动的波。在冲击结构后,水继续流动,直到在槽壁发生反射,并再次冲击柱,其中计算了柱上的压力 ... 扩展阅读
本例研究一个由压电换能器驱动的玻璃毛细管中的声阱的三维模型。该系统通过压电换能器上的振荡电势驱动,在固体内诱发机械振动,并在流体中形成声压场。模型中还对压电换能器产生的热量进行了分析 ... 扩展阅读
直拉法(Czochralski,CZ)是制备单晶硅的核心工艺之一。通过精准调控加热功率、拉速和晶体旋转速率,能够有效控制晶体的形状,尤其是其直径。 本模型演示了直拉法晶体生长炉的热分析过程。系统采用电加热器进行加热 ... 扩展阅读
