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碳化硅 (SiC) 外延炉是专为生产和制备 SiC 外延片而设计的核心设备。本示例模型演示基于物理气相传输 (PVT) 法制备 SiC 外延片的过程。通过感应线圈加热 SiC 粉末，当温度达到特定值后，粉末开始升华 ... 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式，如麦克斯韦或 Druyvesteyn，但在某些情况下，解析形式不适合放电物理场。 ... 扩展阅读
AT 切型石英晶体广泛应用于从振荡器到微量天平的各类应用领域，其重要特性之一是晶体的谐振频率与温度一阶不相关，这是质量传感和定时应用中需要用到的特性。AT 切型晶体在厚度剪切模式下振动 ... 扩展阅读
兰姆波谐振器在许多射频应用中扮演着关键的角色。本教学案例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真，通过特征频率和频率响应分析来全面了解其特性。 扩展阅读
本教学案例求解 CF4/O2 混合气体中的电感耦合等离子体反应器问题，其中完全自洽地求解了等离子体传递、磁场、流体流动和传热过程，并对反应器进料中的氧气摩尔分数进行了参数化分析。 扩展阅读
压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比，这种传感器更易于与电子器件集成，响应更加线性，并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过，在工作过程中通常需要更多的功率 ... 扩展阅读
电容式微机械超声换能器 (CMUT) 是一种微型接收器，可以将超声波转换为用于高分辨率成像应用的电信号。这种 CMUT 设计具有优化的力-位移特性，以提高转换效率。改进的核心是位移均匀性因子，可以通过“频域，预应力 ... 扩展阅读
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应 ... 扩展阅读
本例模拟电容式压力传感器，介绍如何模拟压力传感器在外加压力作用下的响应，以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。 扩展阅读
