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差动泵浦

差动泵浦真空系统使用一个小毛细口或管道连接系统中的两个不同压力的部分。这种系统常用于在较高压力下工作,通过UHV进行检测和监控。本案例中,气体通过窄管道流入真空室,通过解析表达式近似管道下的流速,它也可以直接使用实验数据。通过耦合解析模型到自由分子流接口得到的结果 ...

Knudsen Minimum

When a constant pressure difference drives flow through a narrow constriction between parallel plates (or through a cylindrical tube), the flow rate ...

蒸发器

本案例显示如何计算热蒸发金薄膜的厚度,得到了壁和样品上的沉积膜的厚度。\n\n本案例需要5.5G内存,数小时计算时间。

负载锁定真空系统中的水吸收和解析

本案例显示如何水在真空系统中随时间变化的吸附和解吸。水通过一个门阀控制引入,当超过锁定载荷时,水进入系统,模拟随后产生的迁移的泵浦现象。

离子注入器

本案例考虑离子注入系统的设计,一个重要的设计需求是,在离子束方向上,排气分子的数密度必须很小。本模型中,计算了一个目标排气圆片绕轴放置时,在离子束路径上的数密度。

S 弯标准案例

本案例计算一个S弯几何结构中的传递概率,使用了自由分子流中的角系数方法,以及数学粒子追踪接口中的Monte-Carlo方法。两种方法的结果基本一致,误差小于1%。\n\n本案例需要粒子追踪模块。

超高真空化学气相沉积

本模型显示如何使用自由分子流接口来模拟多物质在硅晶圆上的生长,探索了涡轮泵的几条泵送曲线。

真空毛细管

分子从圆筒中流下是解析处理的首要问题,在这个标准案例中,计算了不同长度的毛细管中分子流下的传递概率,与解析解进行比较。

电荷交换池

气体池在科学仪器设计中有一些应用,可以用来定义仪器主真空系统中的高压区,例如本应用中,我们设计一个 100 mm 长的高压区碰撞池,其中的工作压力为 1e-3 Torr,在主真空系统中的压力为 1e-5 Torr。在质谱仪中,典型的应用是在感应耦合等离子体质谱仪(ICPMS)中去掉质谱干涉 ...

RF 耦合器

本案例计算RF耦合器中的传递概率,使用了自由分子流接口中的角系数方法,以及数学粒子追踪接口中的 Monte-Carlo 方法。两种方法的结果基本一致,误差小于1%。\n\n本案例需要粒子追踪模块。

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