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Knudsen Minimum

When a constant pressure difference drives flow through a narrow constriction between parallel plates (or through a cylindrical tube), the flow rate ...

负载锁定真空系统中的水吸收和解析

本案例显示如何水在真空系统中随时间变化的吸附和解吸。水通过一个门阀控制引入,当超过锁定载荷时,水进入系统,模拟随后产生的迁移的泵浦现象。

旋转板

本案例计算在一个高度方向指向性的分子流中旋转平板上的粒子通量,数密度和压力。获得的结果与其他计算分子流的近似方法进行比较。

蒸发器

本案例显示如何计算热蒸发金薄膜的厚度,得到了壁和样品上的沉积膜的厚度。

本案例需要5.5G内存,数小时计算时间。

电荷交换单元仿真器

使用电荷交换单元可以产生高能中性粒子束。一个电荷交换单元是高密度气体置于离子束路径中的区域。高密度气体区域产生了一个介质区域,快速离子在其中会被中性化,在单元出口处产生中性粒子束。因为电子捕获的概率并不是太高,当粒子束离开单元出口时仍然有可能保持带电。为了在这个过程的末端得到纯中性粒子束 ...

离子注入器 中文

本案例考虑离子注入系统的设计,一个重要的设计需求是,在离子束方向上,排气分子的数密度必须很小。本模型中,计算了一个目标排气圆片绕轴放置时,在离子束路径上的数密度。

超高真空化学气相沉积

本模型显示如何使用自由分子流接口来模拟多物质在硅晶圆上的生长,探索了涡轮泵的几条泵送曲线。

排气管标准案例

本标准案例计算了一个大长径比排气管中的压力分布,结果与一维模型以及文献中Monte-Carlo模拟的结果进行比较。

真空毛细管

分子从圆筒中流下是解析处理的首要问题,在这个标准案例中,计算了不同长度的毛细管中分子流下的传递概率,与解析解进行比较。

电荷交换池

气体池在科学仪器设计中有一些应用,可以用来定义仪器主真空系统中的高压区,例如本应用中,我们设计一个 100 mm 长的高压区碰撞池,其中的工作压力为 1e-3 Torr,在主真空系统中的压力为 1e-5 Torr。在质谱仪中,典型的应用是在感应耦合等离子体质谱仪(ICPMS)中去掉质谱干涉 ...

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