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离子注入器 中文

本案例考虑离子注入系统的设计,一个重要的设计需求是,在离子束方向上,排气分子的数密度必须很小。本模型中,计算了一个目标排气圆片绕轴放置时,在离子束路径上的数密度。

差动泵浦

差动泵浦真空系统使用一个小毛细口或管道连接系统中的两个不同压力的部分。这种系统常用于在较高压力下工作,通过UHV进行检测和监控。本案例中,气体通过窄管道流入真空室,通过解析表达式近似管道下的流速,它也可以直接使用实验数据。通过耦合解析模型到自由分子流接口得到的结果,与当流动为管道和UHV中的自由分子流时的低压限制下的管道中的模拟结果进行比较。

本案例需要7.5G内存,数小时计算时间。

蒸发器

本案例显示如何计算热蒸发金薄膜的厚度,得到了壁和样品上的沉积膜的厚度。

本案例需要5.5G内存,数小时计算时间。

电荷交换池

气体池在科学仪器设计中有一些应用,可以用来定义仪器主真空系统中的高压区,例如本应用中,我们设计一个 100 mm 长的高压区碰撞池,其中的工作压力为 1e-3 Torr,在主真空系统中的压力为 1e-5 Torr。在质谱仪中,典型的应用是在电感耦合等离子体质谱仪(ICPMS)中去掉质谱干涉,或者作为碰撞池促进离子分子反应或串联质谱仪(MS-MS)中的片段。

本模型需要粒子追踪模块。

超高真空化学气相沉积

本模型显示如何使用自由分子流接口来模拟多物质在硅晶圆上的生长,探索了涡轮泵的几条泵送曲线。

电荷交换单元仿真器

使用电荷交换单元可以产生高能中性粒子束。一个电荷交换单元是高密度气体置于离子束路径中的区域。高密度气体区域产生了一个介质区域,快速离子在其中会被中性化,在单元出口处产生中性粒子束。因为电子捕获的概率并不是太高,当粒子束离开单元出口时仍然有可能保持带电。为了在这个过程的末端得到纯中性粒子束,可以使用带电平板将带电粒子在撞击到目标前进行偏转。本 App 使用自由分子流接口来计算电荷交换单元中的压力,使用静电接口来计算用于偏转带电粒子的电场,使用带电粒子追踪接口计算轨迹以及离子和周围的中性原子之间的碰撞。对于这个特殊的应用,一束高能质子经历了与氩原子之间的碰撞。
需要分子流模块和粒子追踪模块。

S 弯标准案例

本案例计算一个S弯几何结构中的传递概率,使用了自由分子流中的角系数方法,以及数学粒子追踪接口中的 Monte-Carlo 方法。两种方法的结果基本一致,误差小于 1%。

本案例需要粒子追踪模块。

真空毛细管

分子从圆筒中流下是解析处理的首要问题,在这个标准案例中,计算了不同长度的毛细管中分子流下的传递概率,与解析解进行比较。

RF 耦合器

本案例计算RF耦合器中的传递概率,使用了自由分子流接口中的角系数方法,以及数学粒子追踪接口中的 Monte-Carlo 方法。两种方法的结果基本一致,误差小于1%。

本案例需要粒子追踪模块。

负载锁定真空系统中的水吸收和解析

本案例显示如何水在真空系统中随时间变化的吸附和解吸。水通过一个门阀控制引入,当超过锁定载荷时,水进入系统,模拟随后产生的迁移的泵浦现象。

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