半导体制造
在半导体制造领域,设计系统组件、优化制造工艺以及开发新一代半导体器件都需要极高的精度和准确性。为了应对这些挑战,全球领先企业纷纷采用多物理场建模与仿真技术开发、测试和验证设计,确保设计高效性与产品可靠性。
欢迎浏览与晶圆制造、前道制程、封测和器件设计相关的内容,了解 COMSOL Multiphysics® 软件在半导体制造中的创新应用。
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模型
IGBT 模块的四点弯曲试验
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博客文章
表面贴装元件的预处理过程仿真
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用户演示
通过仿真改进薄膜沉积设备
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视频
变压器耦合环形等离子体(TCTP)仿真
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视频
半导体湿法工艺的建模与仿真
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博客文章
模拟半透明材料的脉冲激光加热
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模型
微光刻透镜
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模型
IC 封装中的回流焊
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博客文章
涡轮分子泵分析
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用户演示
引线键合:全面的数值方法解析
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模型
化学蚀刻
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模型
光刻胶旋涂仿真
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博客文章
湿法化学蚀刻仿真
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模型
SiC 的 PVT 外延生长仿真
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用户演示
从载带剥离芯片:结构力学与真空力作用的分析
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模型
表面贴装器件(SMD) 预处理
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文章
多物理场仿真助力 ASML 突破计算瓶颈
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模型
IGBT 模块在高加速应力试验 (HAST) 条件下的应力分析
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文章
Besi 优化存储芯片的剥离工艺
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文章
优化光伏级硅的生产工艺
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模型
直拉单晶炉的热分析
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模型
带射频偏压的氩/氯电感耦合等离子体反应器模型
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博客文章
模拟晶圆基底上的 UHV/CVD 与硅生长过程
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模型
沟槽栅 IGBT 三维模型
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用户演示
面向光刻应用的嵌段共聚物定向自组装仿真
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模型
超高真空化学气相沉积
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模型
双极晶体管的三维模型
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泛林集团通过复杂物理场仿真加速芯片开发
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模型
MOS 晶体管 (MOSFET) 的直流特性
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模型
焊点的黏塑性蠕变
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文章
东京电子成功突破芯片密度的极限
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用户演示
铜电化学机械平坦化 (ECMP) 模型验证
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模型
加热电路
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模型
硅晶片激光加热
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模型
离子注入真空系统中的分子流
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模型
GEC CCP 反应器,氩化学
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模型
ICP 反应器,氩化学 - 三维
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产品聚焦
这一切都始于 COMSOL Multiphysics®,这是一款强大的多物理场仿真平台,专为创建基于物理场的模型和仿真 App 而设计。凭借其灵活的架构,用户可以根据需要自由添加任意数量的专用模块和接口产品——所有这些都能通过平台无缝集成,确保无论面对何种复杂的建模任务,都能保持统一、高效的工作流程。
以下产品可以与 COMSOL Multiphysics® 结合使用,适用于模拟半导体制造设备、工艺和器件:
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