固态装配谐振器(二维)

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固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器,通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR,其中计算了特征模态,并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应。计算出的阻抗曲线和位移曲线与文献中的仿真结果吻合较好。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: