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薄膜体声波谐振器的 S 参数

Application ID: 67781

此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何计算压电 MEMS 器件的 S 参数。S 参数的测量通常用于描述 RF 应用中这种器件的特征。通过“静电”物理场接口中的终端特征，您可以直接访问频域研究类型计算的 S 参数。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块

您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：

建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。