薄膜体声波谐振器的 S 参数

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此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展,介绍如何计算压电 MEMS 器件的 S 参数。S 参数的测量通常用于描述 RF 应用中这种器件的特征。通过“静电”物理场接口中的终端特征,您可以直接访问频域研究类型计算的 S 参数。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: