砷化镓化学气相沉积

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本案例描述一个化学气相沉积(CVD)反应器,重点说明如何使用反应工程接口与空间模型耦合模拟复杂的反应/传递系统。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

化学反应工程模块