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膜共振器的残余应力 - 三维

Application ID: 477


表面微加工的薄膜常常带有残余应力,在一个结构力学模型中加入残余热应力,将改变结构的共振频率。本案例研究以旋臂梁弹簧交折的 3D 膜共振器的残余应力,桡曲部分释放了轴向应力。

本案例使用的模块如下:

MEMS 模块

针对您的实际问题,建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于定义该问题的物理场接口。特定的物理场接口可能同时包含于多个产品中(参见技术规格表获取更多详细信息)。在您为一个项目确定最佳的产品组合时,我们建议您首先明确自身的所有需求,然后通过以下几种方式依据需求选取所需的产品:了解各个产品的功能、咨询 COMSOL 销售和技术支持团队,以及使用试用许可证进行软件试用。