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膜共振器的残余应力 - 3D

Application ID: 477


表面微加工的薄膜常常带有残余应力,在一个结构力学模型中加入残余热应力,将改变结构的共振频率。本案例研究以旋臂梁弹簧交折的 3D 膜共振器的残余应力,桡曲部分释放了轴向应力。

本案例使用的模块如下:

MEMS 模块