三维薄膜共振器的残余应力

Application ID: 477


表面微加工的薄膜常带有残余应力。在一个结构力学模型中加入残余热应力,使得结构的共振频率发生改变。此模型描述带折叠悬臂型张弦梁的三维薄膜共振器。折叠的桡曲部分释放了轴向应力。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块