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硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析 ... 扩展阅读
声表面波 (SAW) 是沿固体材料表面传播的声波，其振幅在材料深度方向上迅速衰减，通常呈指数衰减。 声表面波用于多种电子元件，包括滤波器、振荡器和传感器，声表面波器件通常将电极施加到压电材料 ... 扩展阅读
模型通过“压电器件”预定义多物理场接口对基于悬臂梁运动的压电执行器执行静态分析，其灵感来自 V. Piefort 和 A. Benjeddou 的研究工作，它利用压电材料的剪切模式对夹层梁进行建模，使尖端发生偏转。 扩展阅读
本模型演示如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读
表面微机械加工的薄膜经常受到残余应力的影响。该 COMSOL Multiphysics 示例描述了带有直悬臂梁或折叠悬臂梁弹簧的薄膜谐振器，谐振器的谐振频率受热应力的影响，使用折叠弹簧减轻这种影响。 ... 扩展阅读
此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何计算压电 MEMS 器件的 S 参数。S 参数的测量通常用于描述 RF 应用中这种器件的特征。通过“静电”物理场接口中的终端特征 ... 扩展阅读
本教学案例是一个简单的示例，介绍如何使用多层壳功能为压电器件建模。 本例研究了两种材料取向的情况。在第一种情况下，极轴垂直于壳表面，这导致变形的壳的厚度发生变化。在第二种情况下，极轴与壳相切，这导致壳发生弯曲。 扩展阅读