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膜共振器的残余应力 - 3D

表面微加工的薄膜常常带有残余应力,在一个结构力学模型中加入残余热应力,将改变结构的共振频率。本案例研究以旋臂梁弹簧交折的 3D 膜共振器的残余应力,桡曲部分释放了轴向应力。

微电阻梁

本案例研究当电流通过微电阻梁产生的热电效应,进而分析热应力下的结构变形。耦合的热、电、以及结构力学分析,可以用来估计使得梁变形所需的电流和温升大小。

压电微夹钳

本案例模型描述如何设定带机械接触的压电模型。微夹钳包含一个叠起来的压电驱动器,可沿经向运动,同时在横向的收缩和经向的拉伸使得夹钳收紧,并可以移动物体。

MEMS 谐振器的热弹阻尼

在设计 MEMS 谐振器时,热弹阻尼是很重要的系数,其反复的变形会产生局部温度变化和材料的热膨胀,因而产生阻尼,本案例为耦合热与结构方程式的三维模拟。

MEMS 设备中的热膨胀

本模型分析了微机电设备中的热膨胀效应,例如在微型陀螺仪中,要求热膨胀的影响应尽可能的小。模型中使用了来自于材料库的随温度变化的材料属性。

需要材料库。

Capacitive Micromotor

This tutorial shows how to model a 2D capacitive micromotor. The motor consists of a rotor and a stator made of polysilicon. The cogs of the stator are ...

预应力微镜

本案例显示如何设定和求解预应力平板微镜在可控静电作用下的提升或下降,并通过参数化的研究,分析预应力与位移的变化。

压电陶瓷管

本案例分析了一种二维轴对称的压电驱动器,模拟了径向极化的压电陶瓷管在两组不同边界条件下的差异。第一种情况描述反压电效应,第二种情况显示正压电效应。案例基于 S. M. Peelamedu 等人的文章(Proceedings of the Institution of Mechanical ...

偏振器的电压吸合力

本案例模拟了静电驱动的 MEMS 偏振器,它是由在平行板电容器截面施加 AC+DC 偏压来驱动。在模型中计算了不同电压的吸合力。

振动盘挤压膜气体阻尼

本标准案例计算了频域和时域中振动盘上的总力,结果与解析解进行比较。当振幅足够小时,在频域上线性变化,时域上的结果与理论值相吻合。增大振幅,出现非线性响应,在频域中无法正确模拟,因此需要在时域上进行分析,结果同样与解析解进行了比较。