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压电速率陀螺仪

本模型显示如何分析基于调音叉的压电速率陀螺仪。直接压电效应用来驱动面内的调音叉模态,这个模态通过 Coriolis 力耦合到面外模态,得到逆压电效应感受到的面外运动。调音叉的几何经过设计,使得接近的特征频率在频率空间分离。计算了系统的频率响应,以及旋转速度敏感性。

MEMS 谐振器的热弹阻尼

在设计 MEMS 谐振器时,热弹阻尼是很重要的系数,其反复的变形会产生局部温度变化和材料的热膨胀,因而产生阻尼,本案例为耦合热与结构方程式的三维模拟。

微泵机理

微泵是微流体系统中的一个重要零件,这些微流体应用范围涵盖生物流体处理及微电子冷却等。本模型仿真了一种无阀微泵的机理,它被设计有效地用于低雷诺数流体,克服流体动阻力。无阀泵常用于微流体系统,因为它们可以最小化堵塞的风险,对生物材料的作用很温合。本例使用流固耦合接口求解流体流动和结构的相应变形。此外 ...

微电阻梁

本案例研究当电流通过微电阻梁产生的热电效应,进而分析热应力下的结构变形。耦合的热、电、以及结构力学分析,可以用来估计使得梁变形所需的电流和温升大小。

MEMS 设备中的热膨胀

本模型分析了微机电设备中的热膨胀效应,例如在微型陀螺仪中,要求热膨胀的影响应尽可能的小。模型中使用了来自于材料库的随温度变化的材料属性。

需要材料库。

多层板热初始应力

由两层结构组成(涂层和底层)的平板在 800℃ 时应力应变是自由的,当温度降低到 150℃ 时会产生热应力,然后添加第三层板,将两层板中间的热应力作为初始应力,温度最终降低到 20℃。

偏振器的吸合电压

本案例模拟了静电驱动的 MEMS 偏振器,它是由在平等板电容器截面施加 AC+DC 偏压来驱动。本案例计算了吸合电压。

薄膜 BAW 复合谐振器

体声波(BAW)谐振器常用于很多射频元件,可作为窄带滤波器。本案例显示如何模拟一个复合薄膜 BAW 谐振器的本征频率和频率响应分析。

预应力微镜

本案例显示如何设定和求解预应力平板微镜在可控静电作用下的提升或下降,并通过参数化的研究,分析预应力与位移的变化。

压电陶瓷管

本案例分析了一种二维轴对称的压电驱动器,模拟了径向极化的压电陶瓷管在两组不同边界条件下的差异。第一种情况描述反压电效应,第二种情况显示正压电效应。案例基于 S. M. Peelamedu 等人的文章(Proceedings of the Institution of Mechanical ...