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MEMS Modulex

偏压谐振器的稳态分析 - 二维 中文

硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器,如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析”模型对施加直流偏压 ... 扩展阅读

径向极化压电换能器

本教学案例展示如何使用用户定义的坐标系来创建压电材料的任何类型的定向极化,给出了压电盘径向极化的结果。压电材料为 PZT-5H,本例演示静态分析,显示了柱面坐标系的可视化效果以及该坐标系中的应力/应变。 扩展阅读

MEMS 谐振器的热弹性阻尼

材料受到循环应力作用时产生的热弹性阻尼是设计 MEMS 谐振器时要考虑的一个重要因素,应力引起变形,材料在压应力作用下受热,在拉应力作用下冷却,因此,由于产生的热通量,能量发生损耗,来产生这种阻尼。 能量损耗的程度取决于振动频率和结构的热松弛时间常数,热松弛时间常数是材料在受到恒定应力或应变后需要松弛的有效时间。因此,当振动频率接近热松弛频率时,热弹性耗散效应以及由此产生的阻尼效应最为显著。 这些模型展示如何使用全耦合的热方程和结构力学方程来模拟 MEMS 谐振器中的热弹性阻尼。 扩展阅读

使用虚功和麦克斯韦应力张量计算电磁力

模型比较了采用*虚功* 和*麦克斯韦应力张量* 方法计算的轴向磁轴承上的电磁力,通过研究小位移对系统电磁能的影响来计算力,这是使用*磁场*、*变形几何* 及*灵敏度* 物理场接口实现的。 扩展阅读

薄膜谐振器中的残余应力 - 三维模型

表面微机械加工的薄膜经常受到残余应力的影响。该 COMSOL Multiphysics 示例描述了带有直悬臂梁或折叠悬臂梁弹簧的薄膜谐振器,谐振器的谐振频率受热应力的影响,使用折叠弹簧减轻这种影响。 本例由四个模型组成:二维和三维的两个折叠悬臂梁弹簧薄膜谐振器,以及二维和三维的两个直悬臂梁弹簧薄膜谐振器,折叠的挠性件减轻了轴向应力。 扩展阅读

压电陶瓷管

本例探讨使用“压电器件”物理场接口对压电执行器进行静态二维轴对称分析,其中基于 S. Peelamedu 等人的描述,对径向极化压电管进行建模。喷墨打印机的喷嘴上就采用了径向极化管,用于流体控制。 扩展阅读

吸湿膨胀引起的 MEMS 压力传感器漂移 中文

为了将 MEMS 器件集成到微电子电路中,将 MEMS 器件粘合在印刷电路板上,并与其他器件相连。然后,整个电路通常用环氧模塑料 (EMC) 塑封材料,从而保护这些器件及其与电路板的连接线 ... 扩展阅读

微电阻梁 中文

微型电阻器通电后可以立即产生快速且准确的驱动或结构运动,可用于许多应用领域,在这些应用中,需要瞬时地对器件施加小扰动或小挠曲。 该 App 说明了全耦合多物理场仿真的重要性,计算了小型电阻器上施加电势后梁内的变形、温度和电势。 在该 App 中,可以改变几何尺寸以及材料属性、电导率和外加电压。您可以根据仿真结果设计适用于您的器件的微电阻器。 扩展阅读

压痕球的粘附与剥离

将钢球压在橡胶膜上,当接触压力超过一定值时,两部分开始粘在一起。 当球缩回时,膜在粘合区域被向上拉起。回缩过程中,粘合区域部分破裂。当应力超过剥离定律指定的极限时,就会发生这种情况。 扩展阅读

温度变化引起的特征频率偏移

本例探讨温度变化引起的固有频率变化,其中一个研究分析两端固定的双钳梁,而另一个研究分析只有一端固定的悬臂梁。 研究了以下效应: * 应力刚化 *尺寸变化 *约束效应 *温度相关的杨氏模量 结果表明 ... 扩展阅读