等离子体物理 博客文章
感应耦合等离子体（ICP）中的离子温度
2014年 10月 22日
模拟等离子体时，有多种离子温度选项可供您选择。但您的选择可能会强烈影响模型的结果。我们将讨论现象背后的理论原因，并通过研究感应耦合等离子体 (ICP)示例来展示不同离子温度选项对模型结果的影响。
电子能量分布函数
2014年 8月 4日
在这里，我们讨论了电子能量分布函数（EEDF）如何影响等离子体建模结果。
微波等离子体的原理和仿真方法
2013年 12月 11日
微波等离子体，或称波加热放电，在半导体加工、表面处理和有害气体排放等许多工业领域都有应用。这篇博客介绍了 COMSOL 等离子体模块中的微波等离子体 接口的理论基础。
