预应力微镜

Application ID: 372


此模型显示如何设置和求解预应力平板微镜在可控静电作用下的提升,并通过参数化研究分析了多大的预应力变化会产生位移。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块