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在薄结构中产生弹簧状结构或引起曲率的一种方法是将结构电镀到受残余应力影响的基板上。
即使是类似的材料，电镀工艺也可以控制这一应力。静电控制微镜就是这样一种器件，这种器件通常非常小，并且其阵列可以在投影仪中实现。
本例介绍设置和求解预应力电镀器件剥离的基础知识，模型展示了大变形和多个预应力特征在“MEMS 模块”中的应用。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。
