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流-固耦合 中文
此模型研究如何使用“MEMS 模块”对流-固耦合 (FSI) 建模。粘性力和系统的压力施加在结构的表面。柔性结构的形变反过来影响流道的形状。这表明结构变化与流体动力学进行了耦合。
电容式压力传感器 中文
本例模拟一种电容式压力传感器。显示如何模拟压力传感器在受压力作用下的响应，以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。
压阻式压力传感器，壳
本例模拟了一种压阻式压力传感器。显示如何计算由四端口压敏电阻中嵌入的膜受外加压力作用产生变形时由应力产生的电势差。使用了“压阻，壳”接口。此模型基于早期的 MEMS 压力传感器分析：Motorola MAP 传感器（S. D. Senturia, Microsystem Design, Springer, 2000）。
此模型需要“MEMS 模块”和“结构力学模块”。
复合压电换能器 中文
本例分析了复合压电超声换能器。依次执行了特征频率分析和频率响应分析，从而基于激励频率来计算输入导纳。
External Material Examples, Structural Mechanics
A new way to specify user-defined material models is included in COMSOL Multiphysics version 5.2. For structural mechanics, you have the possibility ...
压电能量收集器
本模型显示如何分析一个简单的悬臂梁压电能量收集器。在收集器上施加正弦加速度，得到随频率、载荷阻抗和加速度大小变化的输出能量。
声表面波气体传感器
此模型分析了一个声表面波 (SAW) 气体传感器的特征频率。另外，模型还研究了来自吸收气体的额外惯性负载如何降低其谐振频率。
压电剪切驱动梁
本例对一个配有压电陶瓷驱动器的复合悬臂梁执行静态分析。在垂直于极化方向上施加一个电场，使梁产生横向挠曲。
RF MEMS 开关的吸合
此模型分析由悬浮在电介质层上的薄膜微桥构成的 RF MEMS 开关。在开关上施加一个超过吸合电压的直流电压，将导致桥塌向电介质层，使器件的电容增大。当桥与电介质层开始接触时，使用一个基于罚的接触力对接触力建模。
静电驱动悬臂梁
弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的一种基本结构。本例演示悬臂梁在静电载荷作用下发生弯曲。求解了外加电压后梁的变形。
