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压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比，这种传感器更易于与电子器件集成，响应更加线性，并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过，在工作过程中通常需要更多的功率 ... 扩展阅读
这个双热臂热执行器教学案例耦合了三种不同的物理现象：电流传导、含热量生成的传热以及热膨胀引起的结构应力和应变。 该模型有三个版本： 微执行器焦耳热 (thermalactuatorjh.mph) ... 扩展阅读
本例模拟电容式压力传感器，介绍如何模拟压力传感器在外加压力作用下的响应，以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。 扩展阅读
本例研究多层板的热应力。一块两层（涂层和基质层）结构的板在 800℃ 温度下没有应力和应变，板的温度降低到 150℃，产生热应力。添加第三层作为载体层，并添加涂层和基质层中的热应力作为预应力，温度最终降到 20℃。 扩展阅读
本例在时域和频域模拟静电驱动 MEMS 谐振器，该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中评估谐振频率与直流偏压的相关性，并执行频域和瞬态分析来研究该装置的性能。 扩展阅读
硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析 ... 扩展阅读
声表面波 (SAW) 是沿固体材料表面传播的声波，其振幅在材料深度方向上迅速衰减，通常呈指数衰减。 声表面波用于多种电子元件，包括滤波器、振荡器和传感器，声表面波器件通常将电极施加到压电材料 ... 扩展阅读
此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计，它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究（由 Kluwer Academic ... 扩展阅读