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流-固耦合 中文

此模型研究如何使用“MEMS 模块”对流-固耦合 (FSI) 建模。粘性力和系统的压力施加在结构的表面。柔性结构的形变反过来影响流道的形状。这表明结构变化与流体动力学进行了耦合。

电容式压力传感器 中文

本例模拟一种电容式压力传感器。显示如何模拟压力传感器在受压力作用下的响应,以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。

复合压电换能器 中文

本例分析了复合压电超声换能器。依次执行了特征频率分析和频率响应分析,从而基于激励频率来计算输入导纳。

声表面波气体传感器

此模型分析了一个声表面波 (SAW) 气体传感器的特征频率。另外,模型还研究了来自吸收气体的额外惯性负载如何降低其谐振频率。

压阻式压力传感器,壳

压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比,这种传感器更易于与电子器件集成,响应更加线性,并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过,在工作过程中通常需要更多的功率,并且传感器的基本噪声限度高于电容式压力传感器。过去,压阻器件在压力传感器市场上一直占主导地位。 本例分析最初由摩托罗拉公司(现在的飞思卡尔半导体公司)制造的 MPX100 系列压力传感器的设计。虽然该传感器已停产,模型中还是详细分析了其设计,并提供了飞思卡尔半导体公司的存档数据表。

压电能量收集器

本模型显示如何分析一个简单的悬臂梁压电能量收集器。在收集器上施加正弦加速度,得到随频率、载荷阻抗和加速度大小变化的输出能量。

静电驱动悬臂梁

弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的一种基本结构。本例演示悬臂梁在静电载荷作用下发生弯曲。求解了外加电压后梁的变形。

表面微加工加速计

此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计,它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究(由 Kluwer Academic Publishers 出版,2003 年第 5 版,第 513 页 - 第 525 页)为基础。

压电剪切驱动梁

本例对一个配有压电陶瓷驱动器的复合悬臂梁执行静态分析。在垂直于极化方向上施加一个电场,使梁产生横向挠曲。

微泵机理

微流体系统可应用于生物流体处理及微电子散热等,微泵是这一系统中的重要组件。此模型模拟了一种无阀微泵的机理,它旨在有效地用于低雷诺数流体,克服流体动阻力。无阀泵堵塞的可能性很小,且对生物材料没有严重影响,因此在微流体系统中通常是首选组件。本例使用“流-固耦合”接口求解流体的流动和结构的相应变形。此外,还使用“全局常微分和微分代数方程”接口来演示如何实现泵浦循环中总流量对时间的积分。

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