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功率沉积到双频电容耦合等离子体中的谐波量

在时变静电场和电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子间发生的能量传递并不完全发生在二倍的 RF 频率时。由于静电场和电子间的功率传递过程是高度非线性的,因此功率沉积将发生在比二倍频更高的频率。对于双频 CCP 反应器,在很多不同频率上会存在功率沉积的谐波量。

微波微等离子体

微尺度放电间隙中的等离子体能够在高压(一个大气压)下运动,电子数密度 (1E20 m^-3) 和功率密度 (1E9 W/m^3) 都较高,同时重粒子上保持相对较低的温度。此模型模拟大气压条件下,微波范围内由时变电激励所维持的氩等离子体。此模型在所施加的场方向上是一维的,描述了等离子体多个宏观属性的空间和时间演变。

玻尔兹曼直流辉光放电 中文

此 App 模拟直流辉光放电。采用“玻尔兹曼方程,两项近似”接口计算电子能量分布函数 (EEDF) 和电子传递属性。由于“玻尔兹曼方程,两项近似”接口的输入参数(例如,等离子体的电离度)事先未知,因此要执行一个迭代过程。其中交替计算了玻尔兹曼研究和等离子体研究,直到电子密度的偏差低于用户定义的值。因此,可以检查几何每个点处的 EEDF。

氮中的负流注

本例研究 -100 kV/cm 恒定电场下大气压水平的氮中的负流注。这是一维模型,描述了初始电子种子在未受干扰的电场中增长形成流注的瞬态特性。

氯排放全局模型

该示例使用全局(体积平均)模型研究氯等离子体的排放。在运行空间相关模型的仿真时,采用体积平均模型耗时很短,因此,这种模型成为研究大型反应集和扩展参数区域的理想选择。该模型研究 50 到 600 W 的吸收功率,以及 1 到 100 mTorr 的工作压力。电子密度、电子温度以及氯原子密度等多个相关物理量的模拟结果与文献中电感耦合等离子体反应器中执行的测量结果非常一致。

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