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COMSOL-News-Magazine-2017
COMSOL-News-Magazine-2017-Special-edition-acoustics
COMSOL-News-Magazine-2016

氩气 Boltzmann 分析

本教程研究氩气放电时,对电子的能量分布函数设置不同的参数及速率系数产生的效果。

氧气 Boltzmann 分析

本教程比较了计算得到的漂移管中氧气放电时的漂移速度与实验的结果。

无极灯

本例研究无极灯中的发射谱和电能转换成光能的机理。此模型在本质上是等离子体充当辅助作用的变换器,其中包含 96 种反应和 12 种物质。

氯排放全局模型

该示例使用全局(体积平均)模型研究氯等离子体的排放。在运行空间相关模型的仿真时,采用体积平均模型耗时很短,因此,这种模型成为研究大型反应集和扩展参数区域的理想选择。该模型研究 50 到 600 W 的吸收功率,以及 1 到 100 mTorr 的工作压力。电子密度、电子温度以及氯原子密度等多个相关物理量的模拟结果与文献中电感耦合等离子体反应器中执行的测量结果非常一致。

功率沉积到双频电容耦合等离子体中的谐波量

在时变静电场和电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子间发生的能量传递并不完全发生在二倍的 RF 频率时。由于静电场和电子间的功率传递过程是高度非线性的,因此功率沉积将发生在比二倍频更高的频率。对于双频 CCP 反应器,在很多不同频率上会存在功率沉积的谐波量。

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