案例下载包括了 COMSOL Multiphysics® 涉及电气、力学、流体和化工等各个领域的案例和教程,是您开始建模工作的绝佳起点。

欢迎使用‘快速搜索’查找与您的专业领域相关的案例模型和 App。下载文件需要您首先登录或创建一个与有效 COMSOL 许可证相关联的 COMSOL Access 帐户。请注意,很多模型都已包含在软件自带的案例库 中,您可以在 COMSOL Multiphysics® 软件界面的文件 菜单中找到此选项。

中文带有此标签的案例中包含中文 PDF 文档。


氩气玻尔兹曼分析

电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式,如 Maxwellian 或 Druyvesteyn,但在某些情况下,解析形式不适合放电物理场。 本教学案例研究了各种参数对氩放电电子能量分布函数和速率系数的影响。

氧气玻尔兹曼分析

求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面,传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似,并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似,并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。

无极灯

此模型模拟了具有氩/汞化学性质的无极灯。汞原子的激发阈值较低,意味着即使汞的浓度很低,其特性也占主导地位。等离子体在 185 nm 和 253 nm 处发射出强紫外线,继而激发涂在灯泡表面的荧光粉。从电路角度来看,灯可以视为变压器,其中线圈充当初级线圈,等离子体充当次级线圈。如果放电灯的效率可以提高 1%%,那么全世界每年将节约 109 kWh 的能量。

阻抗匹配

此教程在高功率和低功率下使用 L 型匹配网络驱动电容耦合等离子体的生成。在低功率时,电流中的谐波分量很小,在所选功率值下可获得完美匹配。对功率、频率和压力执行扫描,并检测其对匹配功率传输比和效率的影响。最后,对较高功率范围执行扫描,电流中的谐波分量相当大,导致阻抗失配。

计算等离子体阻抗

此教学模型演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。先通过“时间周期”研究计算等离子体的时间周期解,然后,将该解转换为时域解,再调用快速傅立叶变换 (FFT) 求解器。这样可以根据给定的一组输入参数来计算等离子体阻抗。设计匹配网络时,该阻抗值非常有用。

一维 GEC CCP 反应器,氩化学

NIST GEC CCP 反应器为研究电容耦合等离子体提供了平台。即使是最简单的等离子体模型也十分复杂,因此一维示例有助于理解物理场,而无需过多的 CPU 时间。 该问题没有稳态解,不过经过一定数量的 RF 循环(通常 >1000)后会达到周期稳态性。

功率沉积到双频电容耦合等离子体中的谐波量

从时变静电场到电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子的能量传递并不仅仅发生在两倍的 RF 频率处。由于从静电场到电子的功率传递的高度非线性机理,功率沉积发生在高于两倍驱动频率的频率处。对于双频电容耦合等离子体反应器,功率沉积的谐波量出现在许多不同频率处。

氯排放全局模型

含氯的等离子体排放通常在微电子制造中用于半导体和金属的蚀刻。

此教学模型使用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体排放。在运行空间相关模型的仿真时,使用全局扩散模型耗时非常短。因此,这种模型成为研究大型反应集和扩展参数区域的理想选择。

这一“氯排放”模型研究 50 到 600 W 的吸收功率,工作压力为 1 到 100 毫托。电子密度、电子温度以及氯原子密度等多个相关物理量的模拟结果与文献中电感耦合等离子体反应器中执行的测量结果非常一致。

CCP 离子能量分布函数

此模型计算商用电容耦合等离子体反应器的离子能量分布函数 (IEDF)。结果表明与实验数据非常吻合。

α 到 γ 过渡

电容耦合射频放电可以在两个完全不同的状态下进行,具体取决于放电功率。在功率较低的状态(称为 α 态)下,电场振荡会导致生热并产生电子。在功率较高的状态(称为 γ 态)下,离子轰击电极所发射的二次电子会触发护套内产生电子雪崩,这是维持放电的主要手段。此模型使用“等离子体,时间周期”接口研究 α 态和 γ 态,以及在大气压下的电容耦合射频放电中,这两种状态之间的过渡。

21–30 of 30
Next |
Last