COMSOL Multiphysics^® 6.1 发布亮点

等离子体模块更新

COMSOL Multiphysics^® 6.1 版本为“等离子体模块”的用户带来了新的功能，现在可以模拟具有周期性射频偏压的耦合等离子体反应器，新增了等离子体化学 插件，可基于文本文件为模型创建完整的等离子体化学体系，并添加了四个新的教学案例。请阅读以下内容，进一步了解这些更新。

多物理场接口：带射频偏压的电感耦合等离子体

新的带射频偏压的电感耦合等离子体 多物理场接口将等离子体，时间周期 与磁场 接口相耦合，以模拟具有电容射频周期性激励的电感耦合等离子体 (ICP) 反应器。其中在频域求解磁场，并求解周期稳态的等离子体输运方程。该接口专用于模拟具有电感和电容功率耦合机制的等离子体反应器，您可以在新的带射频偏压的氩和氯电感耦合等离子体反应器模型中查看其应用演示。

在氩和氯混合物中运行的带射频偏压的电感耦合等离子体反应器的仿真结果。

等离子体化学插件

等离子体化学 插件可以使用等离子体 和等离子体，时间周期 接口基于文本文件自动创建出完整的等离子体化学。借助该插件，您可以在文件中指定等离子体化学的各个方面，例如热力学参数等物质属性、基于横截面积和速率常数的电子碰撞反应、重物质反应和表面反应。以下新模型使用了这一特征：

• 带射频偏压的氩和氯电感耦合等离子体反应器模型
• 氩和氧电感耦合等离子体反应器模型
• 氩和氧电容耦合等离子体反应器模型

等离子体化学插件（左）用于导入一个氩-氯等离子体化学文件（右），其中等离子体特征由插件自动创建。

新的教学案例

COMSOL Multiphysics^® 6.1 版本的“等离子体模块”添加了四个新的教学案例。

带射频偏压的氩和氯电感耦合等离子体反应器模型

在氩和氯混合物中运行的带射频偏压的电感耦合等离子体反应器的模型结果。模型中使用 带射频偏压的电感耦合等离子体接口来模拟具有电容射频周期性激励的氩和氯电感耦合等离子体反应器，其中在频域求解磁场，并使用等离子体求解周期解。所涉及的流体流动和气体加热通过等离子体模型自洽求解。

“案例库”标题：
icp_ccp_argon_chlorine
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氩和氧电感耦合等离子体反应器模型

本教程对氩-氧电感耦合等离子体反应器进行建模，其中的流体流动和气体加热通过等离子体模型自洽求解。新的 等离子体化学插件用于从文件中导入完整的等离子体化学。相关的模型文件中讨论了对电负性放电进行建模的重要方面和策略。

“案例库”标题：
icp_argon_oxygen
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氩和氧电容耦合等离子体反应器模型

电容耦合等离子体 (CCP) 反应器中带电物质的时间平均密度，氩和氧的摩尔分数分别为 0.1 和 0.9。该模型介绍了通过 13.56 MHz 电激励在两个金属电极之间维持的氩-氧等离子体的研究。氧的摩尔分数被参数化，其中可以观察到主要正离子的转变。放电的核心呈电负性，负离子（深蓝色）是主要的负电荷载流子。负离子密度向边缘快速下降，其中电子（浅蓝色）是主要的负电荷载流子。

“案例库”标题：
ccp_argon_oxygen
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干空气玻尔兹曼分析

电子能量分布函数（以 10 为底的对数）随电子能量（已针对多个电子平均能量进行参数化）的变化情况。在这个模型中，对 80:20 的氮氧混合物（表示干空气）使用两项近似求解玻尔兹曼方程，以得到电子能量分布函数 (EEDF) 和宏观传递参数，以及可用于流体型模型的源项。此外，本教程还解释了如何准备用于导出的 EEDF，以在 等离子体接口中使用。

“案例库”标题：
boltzmann_dry_air
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