COMSOL Multiphysics^® 6.2 发布亮点

等离子体模块更新

COMSOL Multiphysics^® 6.2 版本为“等离子体模块”的用户提供了在微波等离子体模型中使用频域-稳态 研究步骤的功能，并新增了反应组 特征，可以轻松地将化学反应添加到等离子体中，此外还提供了在全局模型中求解重物质能量守恒的功能。请阅读以下内容，了解所有更新功能。

增强微波等离子体的稳定性

现在可以在微波等离子体模型中实施频域-稳态 研究步骤，从而大大减少计算时间。新的功能使用求解器设置组合，并对等离子体反应器的输入功率而不是沉积功率进行参数化处理，使微波等离子体模型更加稳定。您可以在新增的微波腔等离子体反应器教学案例和更新的偶极微波等离子体源教学案例中查看这一研究步骤的应用演示。

新的“微波腔等离子体反应器”模型中运行的微波氢气等离子体反应器。

反应组

新增的反应组 特征支持在表格中输入大量重物质反应，从而更容易为等离子体添加化学反应。输入内容可以手动添加、从文件导入或使用等离子体化学 插件自动添加。微波腔等离子体反应器教学案例中采用此特征添加了涉及氢原子和分子的反应。

全局模型中的重物质能量守恒方程

在 6.2 版中，现在可以在常微分方程 (ODE) 定义的全局模型中求解重物质能量守恒方程，此功能可用于研究使用零维或常微分方程方法测试等离子体化学时气体温度的影响。此外，新版本还提供了用于评估进料气体温度和表面传热的选项。您可以在氢全局模型与两项玻尔兹曼方程耦合教学案例中查看此更新。

新的教学案例

COMSOL Multiphysics^® 6.2 版本的“等离子体模块”引入了以下新的教学案例。

微波腔等离子体反应器

“微波腔等离子体反应器”模型研究中等压力下氢等离子体在微波腔中持续存在的问题，其中求解了等离子体输运方程，及其与麦克斯韦方程、流体流动和传热的全耦合。微波圆柱型腔体内有一个钟罩，在其中可产生氢等离子体。反应器经过精心设计，使得电场在基板上方达到最大强度，而钟罩边界的强度要低得多。为了确保等离子体在高功率下也能在基板区域保持最大密度，这种设计是必不可少的。

“案例库”标题：
microwave_cavity_plasma
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氢玻尔兹曼分析

“氢玻尔兹曼分析”模型显示了电子能量分布函数 (EEDF) 的高频极限值和时均值，还演示了与耗竭程度和填充程度最大的尾部相对应的瞬时 EEDF。在 2.45 GHz、50 Td（汤森）约化电场条件下，对 25 kPa 的氢气进行仿真。

“案例库”标题：
boltzmann_hydrogen
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氢全局模型与两项玻尔兹曼方程耦合

氢全局模型演示了电子能量分布函数（以 10 为底的对数）与针对等离子体吸收功率进行参数化的电子能量的函数关系。在该模型中，两项近似玻尔兹曼方程与包含重物质热方程的氢等离子体全局模型自洽求解。

“案例库”标题：
hydrogen_global_model
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